Исследователи Томского политехнического университета представили первый в России чип для точной проверки качества рентгеновских микротомографов.
Устройство размером с рисовое зерно позволяет измерить разрешающую способность оборудования в диапазоне от 15 до 1 мк. Для его использования не требуется специальное ПО. Аналоги такого микрочипа производят только в Германии и Японии.
Для работы чип помещается на предметном столике томографа как обычный объект исследования, проводится сканирование и далее полученное изображение сравнивается с известными значениями. Чем лучше изображение чипа — тем лучше томограф. При этом сами томографы для работы с нашим устройством модернизировать не надо, чип универсален и работает с любым томографическим оборудованием. В частности, микротомограф ТПУ с разрешением в 5 мкм был подтвержден разработанным чипом и был внесен в Государственный реестр средств измерений.
Чип изготовлен из кристаллического кремния. На его поверхности методом травления нанесены эталонные трехмерные структуры — полосы и точки — с верифицированными размерами. При сканировании разработанного эталонного объекта можно наглядно определить, какие минимальные детали способен различить томограф, а также проверить точность масштаба и равномерность разрешения. Это решает ключевую метрологическую проблему: теперь можно документально подтвердить, что томограф «видит» внутренние структуры образца размером до 1 мк.
Ранее Наука Mail писала о том, что новгородские специалисты улучшили фундаментальный элемент микросхем.
