Коллектив лаборатории «Низкотемпературные керамические технологии (LTCC) в микроэлектронике» университета МИФИ создал программно-аппаратный комплекс по микрообработке микроэлектронных материалов на базе лазера, излучающего ультрафиолетовый свет.
Идея сделать собственную установку, которая бы была проста и выгодна в обслуживании, возникла у сотрудников кафедры микро- и наноэлектроники МИФИ несколько лет назад. В результате командой проекта был создан инновационный комплекс для четырехкоординатной адаптивной лазерной микрофрезеровки. Разработка замещает импортную керамическую электронную компонентную базу для приборостроения.
«Наша установка позволяет небольшим научным группам получать примерно тот же результат, что и на промышленных линиях, заточенных под массовое производство. С помощью нашего оборудования можно повторить операции, которые делают на крупных производствах, а еще — использовать новые материалы, которые прежде было сложно объемно обрабатывать классическими технологиями. Например, циркониевую керамику. Ее применяют для создания газовых датчиков — приборов для сверхтяжелых условий эксплуатации, связанных с регистрацией процессов качества сгорания топлива в газовых турбинах и дизельных двигателях», — объясняет руководитель лаборатории Константин Облов.
Коллектив молодых ученых лаборатории принимает активное участие в международных научных проектах. Один из примеров такого сотрудничества — работа, выполненная совместно с научными и коммерческими организациями Германии и Израиля в консорциуме DigiMan.
Ранее Наука Mail писала о том, как российские физики смогли получить плотную и горячую плазму, которая станет источником экстремального ультрафиолетового излучения и позволит создавать микроэлектронику будущего.