В современных самолетах для измерения давления используют два отдельных датчика: один для статического давления, другой для быстропеременного. Это увеличивает массу, габариты и энергопотребление. Ученые Пензенского государственного университета (ПГУ) — доцент Вадим Волков и магистрант Дмитрий Агафонов — предложили решение, которое объединяет оба канала в одном чувствительном элементе. Об этом Науке Mail сообщила пресс-служба Минобрнауки России.
Разработчики использовали технологию тонкопленочного напыления. На подложку последовательно наносятся два слоя: тензорезистивные пленки (для измерения статического давления) и пьезоэлектрические пленки из нитрида алюминия (для быстропеременного). Каналы электрически изолированы друг от друга, но работают одновременно.
Мы интегрируем тензометрические и пьезоэлектрические тонкие пленки нанометрового размера в одном чувствительном элементе. Это позволит существенно расширить функциональные возможности датчика, в частности использовать один датчик для измерения давлений в различных частотных диапазонах.
Испытания образцов в Санкт-Петербургском государственном электротехническом университете «ЛЭТИ» подтвердили работоспособность технологии: пленки имеют однородную структуру, не отслаиваются и дают стабильный пьезоэлектрический отклик (1700 пА). Датчик найдет применение не только в авиации, но и в автомобильной, нефтегазовой промышленности и атомной энергетике, где контроль давления критичен для безопасности. На разработку уже получен патент.
Ранее Наука Mail писала о том, что В МИСИС нашли способ создавать магниты без редкоземов.
