Чип с танталовыми резонаторами, изготовленный в Квантум Парке

В России научились получать танталовые чипы для квантовых компьютеров

В Квантум Парке МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» создали технологию для производства сверхпроводниковых чипов на основе тантала — перспективного материала для квантовых процессоров. Эта технология значительно повышает качество квантовых элементов. Добротность российских танталовых чипов достигает десятков миллионов, что сопоставимо лишь с лучшими мировыми разработками.
Автор Наука Mail
Чип с танталовыми резонаторами
Чип с танталовыми резонаторами, изготовленный в Квантум ПаркеИсточник: Илья Степанов

Масштаб текущей революции в технологиях ИИ напрямую зависит от вычислительных мощностей. Суперкомпьютеры нового поколения критически необходимы для обучения нейросетей, климатического моделирования, расшифровки геномов, поиска новых материалов. При этом классические машины подходят к физическому барьеру: потребляют мегаватты энергии, занимают целые здания, их производительность упирается в законы квантовой физики. К 2030 году миру потребуются экзафлопсные системы — на порядки быстрее существующих.

Одно из главных направлений — использование гибридных систем, когда классические суперкомпьютеры работают вместе с квантовыми, фотонными или нейронными сопроцессорами. Среди квантовых технологий особое место занимает сверхпроводниковая платформа, которую используют IBM, Google и другие лидеры.

СЭМ-снимки чипа с резонаторами на основе тантала
СЭМ-снимки чипа с резонаторами на основе тантала, изготовленного в Квантум ПаркеИсточник: Илья Степанов

До недавнего времени основным материалом для квантовых чипов был алюминий, который позволил создать первые рабочие квантовые процессоры, но с ростом числа кубитов начались проблемы: окисление и дефекты на поверхности быстро разрушают квантовую информацию.

Тантал — более перспективный материал. Он устойчив к агрессивным средам, что позволяет тщательнее очищать поверхность чипов. Его естественный оксид почти не содержит дефектов, поэтому кубиты дольше сохраняют состояние. В мире лучшие результаты по времени когерентности — до 1,68 миллисекунды — достигнуты именно на тантале (Принстон, 2025). Это в разы лучше, чем у алюминиевых чипов. Переход с алюминия на тантал — важный шаг к созданию мощных и надежных квантовых компьютеров.

В Квантум Парке разработали технологию изготовления квантовых чипов на основе высокочистого альфа-тантала. Главная сложность состояла в том, что тантал — «капризный» металл: его пленки растут в двух фазах (бета и альфа), и долгое время механизм формирования нужной альфа-фазы на кремниевых подложках был не ясен.

Российские ученые и инженеры выявили механизм самопроизвольного перехода тантала из метастабильной бета-фазы в требуемую для сверхпроводниковых схем альфа-фазу непосредственно на этапе роста пленки.

При разработке технологии мы провели более 1000 экспериментов, и эти результаты помогли нам выдвинуть гипотезу механизма фазовой селекции, объясняющую формирование альфа- и бета-тантала. Используя методы просвечивающей микроскопии с атомарным разрешением, мы проанализировали морфологию десятков серийно изготовленных пластин и отследили субнанометровые структурные особенности альфа-тантала на кремнии — их просто невозможно увидеть «обычными» приборами. В ходе кропотливой исследовательской работы разобрались в природе этих мельчайших структур и изучили зарождение пленок при толщинах в несколько десятков атомарных слоев.
Евгений Зикий
разработчик технологии, старший научный сотрудник Квантум Парка

Добротность резонаторов — главный показатель качества сверхпроводниковых чипов для квантовых компьютеров. Чем она выше, тем дольше кубит сохраняет информацию и тем надежнее работают квантовые вычисления.

У танталовых резонаторов, созданных в Квантум Парке, добротность достигает 10 миллионов в режиме одного фотона. Это значит, что микроволновой фотон внутри резонатора успевает «пробежать» десятки миллионов кругов — как будто проходит около 10 километров — прежде чем его энергия исчезнет. И все это происходит за доли секунды. Такой результат — один из лучших в мире. Повторить его могут пока только ученые из Принстона и бельгийского центра imec.

Новая для нас технология отработана на криогенных микроволновых резонаторах, и мы смогли более чем на порядок поднять добротность сверхпроводниковых интегральных схем. Начат самый сложный этап — внедрение в серийное производство. Первые поставки квантовых сопроцессоров на танталовой платформе законтрактованы уже на осень 2026 года.
Илья Родионов
руководитель кластера Квантум Парк

Исследования выполнены в рамках стратегического технологического проекта «Экзафлопсные гибридные вычисления (Bauman DeepTech)» программы «Приоритет-2030». Результаты опубликованы в авторитетном физическом журнале Applied Physics Reviews.

Ранее Наука Mail рассказывала о том, что в России разработан новый механизм памяти для чипов.