Инженеры и химики Томского государственного университета завершили проект, который напрямую влияет на развитие российской микроэлектроники. В Инжиниринговом химико-технологическом центре ТГУ запущено производство высокочистого бромистого водорода (HBr) — вещества, критически важного для микроэлектронной промышленности.
Ученые разработали технологию и запустили производственную линию в Томске, обеспечив выпуск HBr с чистотой 99,999% (5N). Даже следовые примеси способны вывести из строя оборудование и остановить процесс, поэтому главным вызовом стала разработка системы аналитического контроля. В лабораториях ТГУ удалось создать методики выявления воды, хлороводорода и металлов на уровне следов — подобные технологии ранее в России отсутствовали.
Производственная линия рассчитана на выпуск 650 кг HBr в год, при необходимости объем можно увеличить. Это полностью покрывает потребности отечественных ведущих компаний отрасли. До сих пор российский рынок зависел от поставок из Китая и Европы. Теперь страна получает не только гарантированные поставки ключевого реагента, но и основу для развития собственной линейки сверхчистой химии.
Проект поддержан Минпромторгом и включен в стратегию развития электронного машиностроения до 2030 года.
Ранее Наука Mail рассказывала о том, что томские ученые исследуют эволюцию океанического углерода.
